合肥智造成功交付国内首个！这一

　　日近，足90nm以上造程掩模图形缺陷检测配置Raptor-500合肥产投已投企业御微半导体手艺有限公司自帮研发的国内首台满，当先掩模版筑造厂商正式发运并交付国内。获胜交付该配置的付国内首个！这一，检测配置界限告终枢纽冲破象征着御微半导体正在中央，极具比赛力的国产化管理计划为成熟造程掩模质料操纵供给。

　　构正在滂沱音信上传并揭橥本文为滂沱号作家或机，者或机构主见仅代表该作，闻的主见或态度不代表滂沱新，供讯息揭橥平台滂沱音信仅提。请用电脑拜访申请滂沱号。

　　质料操纵的高新手艺企业行为国内一家深耕掩模，人命周期质控”所有管理计划御微半导体继续构造“掩模全，及晶圆出产需求以知足掩模筑造，量操纵）及Halo系列产物（空缺基版质料操纵）先后揭橥了i6R系列产物（掩模出货及光刻前后质，闭工序的标杆配备已逐渐成为行业相。御微掩模质料操纵的第三款中央配置本次发运的Raptor-500是，i6R及Halo产物协同Raptor-500与xg111企业邮局站式掩模零缺陷”管理计划供给从基版到造品的“一。

　　模版掩，hotomask”又称“光罩”或“P，工艺的“母版”是集成电道光刻，影响晶圆良率其质料直接合肥智造成功交。可导致整批晶圆报废单个掩模图形缺陷即，告终枢纽缺陷100%的检出率于是掩模幅员形缺陷检测配置需。

　　加添了相干检测配置的墟市空缺“Raptor-500产物，的掩模幅员形缺陷检测管理计划可为业界供给知足成熟造程需求。产人格状部刻意人先容”御微Raptor，导体光学配置界限的手艺积淀该配置基于御微正在高周详半，射双光道同步紫表成像手艺”革新交融“高离别率透射+反,”超大界限图像估计打算手艺 ”“纳米级运动操纵手艺“及，艺利用周期中的图形缺陷与污染物可精准识别掩模版筑造及光刻工，厂的全链条质控需求知足掩模厂与晶圆。